一、项目信息
?。?）采购人：中国科学院光电技术研究所?
?。?）项目名称：重点研发计划类项目?
?。?）拟采购的货物或服务说明：?
包含BEAMER和TRACER两个完整软件包。包含1年的软件升级技术支持服务。
?。?）拟采购的货物或服务预算金额：
预算金额98万元。?
?。?）采用单一来源采购方式的原因及说明：?
????电子束直写数据处理软件是高斯束电子束直写图形处理的标配软件。主要用于版图数据的布局操作、过程校正、特殊的图形切割以及写场控制，并实现单纯直写系统硬件上做不到的特殊器件以及应用。
????目前，本单位已经购置过一套电子束直写数据处理软件，但该软件仅支持单用户操作，目前使用已饱和。而目前承担的项目所需的版图数据处理量大幅增加。由于版图数据量大，软件处理时间长、耗时，会严重影响效率和进度。已有软件已无法支撑相关工作的开展。因此，需要新购一套电子束直写数据处理软件，提高掩模图形数据处理的能力，保障项目的进度。
????德国GenISys公司的BEAMER和TRACER是目前唯一的电子束直写软件整体解决方案，在高端50kv-200kv高斯束电子束直写系统中保持垄断的市场份额。因此，本项目只能通过单一来源方式进行采购。
二、拟定供应商信息?
名称：GenISys GmbH
地址：Eschenstra?e 66, D-82024 Taufkirchen?
三、?公示期限?
2024年12月2日 至?2023年12月8日?
四、?联系方式?
联系人：中国科学院光电技术研究所?
联系方式：刘老师?028-85752244
微信
